动，开始时，高值波峰总是在白天中午，波谷数据总是在凌晨以后。后来的46次流片中，机器连续运转，结果出现了一个明显的良品率先低后高再低的波动曲线，所以我猜很有可能是物镜过热，出现了工作温差，机器内部大约1摄氏度的温差下，物镜的投影宽度受到影响。”

    康耀祥惊奇道：“所以你判断光刻机物镜的真空工作模式出现了问题，导致物镜无法恒温？”

    吴市欢激动道：“结果胡总猜的真准，让光学所的工程师给关了真空泵，换了套静电离子气体循环系统，良品率一下子稳定在了最高值！这真是太神了！胡一亭你简直是个小狐狸！”

    吴登超所长兴奋道：“经过昨晚到今天下午的连续调试，现在连续10次流片都能把良品率稳定在50%到55%！实在太棒了！好小子！干的好！神了！”

    胡一亭的肚子突然发出一阵阵的咕噜声。

    吴所问道：“你们都饿了吧？”

    微电子所的高级工程师商祺一边换衬衣一边诉苦道：“中午大家嫌进进出出要换防尘服太麻烦，都没吃饭呢，所长，要不你给整个席面？咱们补充一下营养？”

    吴市欢拉开西服前襟，摸着肚子道：“就是，都饿憋了！”


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