工作。

    杨林和陆宏光在工厂负责人的陪同下进入车间，一旁的工厂工作人员则负责解说：“

    杨先生您看，车间顶端的自动运输系统（AMHS）以每小时13公里的速度将晶圆在各个制造环节间运输，24小时不停歇。每个运载器都打在了一个FOUP（前端开口片盒），其中可装载最多25片300mm晶圆。而且厂内地面全部打孔，保证空气从上向下流通，将落尘可能减到最小。FOUP片盒挂接在一个制造阶段设备上，后面的那个正在被AMHS吊起……”

    随后，杨林又饶有兴致地在众人的陪同下参观了化学机械抛光（CMP）车间，光刻车间等。

    在光刻车间，这里甚至连灯光照明都受到了限制，所有工作都在昏黄的光线下进行。

    杨林亲眼看到了激光如何将掩膜缩印到晶圆，算是真正了解了晶圆制造的全过程。

    唯一让人觉得可惜的是，这些深紫外侵入式光刻机全部都是荷兰阿斯麦（ASML）公司和日本尼康的产品，目前还没有国产的可以代替。(未完待续。)手机用户请浏览阅读，更优质的阅读体验。
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